深圳市奈良機(jī)工貿(mào)易有限公司
聯(lián)系人：李小姐
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手機(jī)：18682180332
QQ：2060153949
所有產(chǎn)品保證原裝正品，假一罰百
特長(zhǎng)
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- SV-4540、6040、9045はカルーセル型で基板仕込み量が多く、小～中規(guī)模あるいは、少量多品種の生産に最適
- SV-200 ディスクスタンパNi成膜に特化した裝置、超小型、全自動(dòng)、ハイスループットを?qū)g現(xiàn)
用途
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仕様
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| | SV-200 | SV-4540 | SV-6040 | SV-9045 |
| 標(biāo)準(zhǔn)排気系 | 8"クライオポンプ | 12"クライオポンプ | 12"クライオポンプ | 16"クライオポンプ |
| 到達(dá)圧力 | 6.7e-5Pa | 6.7e-5Pa | 6.7e-5Pa | 6.7e-5Pa |
| デポ方向 | サイド | サイド | サイド | サイド |
成膜エリア 均一性
靜止
回転 | φ200mm ± 5% | L300mm ± 10% | L300mm ± 10% | L400mm ± 10% |
| 基板加熱 | 無(wú)し | 250°C | 250°C | 250°C |
| 制御系 | 自動(dòng) | 自動(dòng) | 自動(dòng) | 自動(dòng) |
オプション
SV-200を除く | ターボポンプ | 非水冷電極 |
| 油拡散ポンプ | APC機(jī)構(gòu) |
| 多元同時(shí)デポ | 基板反転機(jī)構(gòu) |
| ダウンデポ | 反応性スパッタ |
| コンベンショナルカソード | |
| 強(qiáng)磁性體用カソード | |
| RFエッチクリーニング(SV-4540) | |
| バイアス機(jī)構(gòu)(SV-4540) | |
我司經(jīng)營(yíng)品牌主要有：日本ENDO遠(yuǎn)藤 、日本YODOGAWA淀川、日本萊茵LINE，日本KURITA栗田，日本PEAK必佳，日本TECLOCK得樂(lè),日本SANWA三和,日本ONOSOKKI小野測(cè)器,日本TERAL泰拉爾,日本TERADA寺田,日本PISCO匹士克,日本FUSOSEIKI 扶桑精機(jī)，日本IMADA依夢(mèng)達(dá),日本MASUDA增田，日本IDEAL-TEK瑞士，日本OLFA愛(ài)利發(fā)，日本showa昭和，日本KUBOTA久保田，日本ORIENT，日本TRUSCO中山，日本KITZ北澤，日本NICHIBAN米其邦，日本NICHIAS，日本URYU瓜生，日本UHT優(yōu)秀，日本MINIMO迷你魔，日本YOKOTA橫田，日本SHINANO信濃，日本KANETEC強(qiáng)力，日本MITOLOY水戶工機(jī)，日本TONE前田，日本ENGINEER工程師,日本OSAWA大澤,日本HIOKI日置，日本BONKOTE邦可，日本ESCO,日本OJIDEN大阪,日本MIDORI綠安全,日本TRINC高柳,日本Nanabosi七星研究所,日本TAIYO太陽(yáng)鐵工,日本KORI古里,日本NS日進(jìn)，日本MUSASHI武藏,日本RYOBI利優(yōu)比,日本ASONE亞斯旺，BOSCH博世,日本TSUKASA馳卡沙,日本KOSHIN工進(jìn),日本SIMCO思美高，日本KASUGA春日,日本NUNOME布目,日本KYOWA共和,日本ULVAC愛(ài)發(fā)科,價(jià)格優(yōu)惠，備有大量庫(kù)存，歡迎來(lái)電查詢！
奈良-陳先生
